Проект по измельчению шаровой мельницы с керамической футеровкой для полупроводниковых материалов в Тайване

Предыстория и проблемы проекта

Клиент: Известный производитель полупроводниковых материалов на Тайване.
Требования к проекту:
Клиенту требовалось измельчить высокочистый керамический порошок электронного класса для корпусирования полупроводников и распыления мишеней. Размер частиц должен был составлять микрометрический или даже субмикронный уровень.

Основные проблемы:

• Требования к особо высокой чистоте:
  Полупроводниковые материалы имеют крайне низкую толерантность к металлическим примесям, таким как Fe и Cr.
  Традиционные шаровые мельницы со стальной футеровкой подвержены риску серьезного загрязнения железом, что делает их непригодными для данного применения.
• Тонкость и эффективность:
  Система должна обеспечивать точную дисперсность частиц, поддерживая при этом стабильное и эффективное серийное производство.

Решение

Чтобы удовлетворить строгие требования заказчика к чистоте и сверхтонкому размеру частиц, компания EPIC POWDER разработала специальную шаровая мельница с керамической футеровкой система.

• Материал подкладки:
  Все компоненты, контактирующие с материалом, изготовлены из высокочистой износостойкой циркониевой керамики. К ним относятся барабан мельницы, вал мешалки и ситовые элементы. Такая конструкция полностью исключает риск загрязнения железом и хромом.
• Мелющие тела:
  В качестве измельчающего тела в системе используются высокочистые циркониевые шарики микронного размера, что гарантирует отсутствие вторичного загрязнения даже при длительном высокоэнергетическом измельчении.
• Точность классификации:
  Система, оснащенная частотным регулятором и высокоэффективным классификатором, обеспечивает постоянный размер частиц D97 = 2–5 мкм.
• Конструкция закрытой системы:
  Вся производственная линия работает в полностью закрытая система, эффективно предотвращая распространение пыли и внешнее загрязнение.

Результат проекта

Это индивидуальное решение помогло тайваньскому клиенту преодолеть узкое место в производстве высокочистого порошка, значительно улучшив однородность и чистоту продукта.
В результате клиент укрепил свои позиции в цепочке поставок полупроводниковых материалов, получив как технологические, так и качественные преимущества.

Материал :полупроводниковый материал

Тонкость: D97 = 2–5 мкм

Выход: 1,5-2т/ч