Projet de broyage par broyeur à billes à revêtement céramique de Taiwan Semiconductor Material

Contexte et défis du projet

Client: Un fabricant taïwanais de matériaux semi-conducteurs en amont bien connu.
Exigence du projet :
Le client avait besoin de broyer une poudre céramique de haute pureté de qualité électronique pour le conditionnement de semi-conducteurs et la fabrication de cibles de pulvérisation cathodique. La taille des particules recherchées était de l'ordre du micron, voire du submicron.

Principaux défis :

• Exigences de pureté extrêmement élevées :
  Les matériaux semi-conducteurs ont une tolérance extrêmement faible aux impuretés métalliques telles que le Fe et le Cr.
  Les broyeurs à boulets traditionnels à revêtement en acier présentent un risque important de contamination par le fer, ce qui les rend inadaptés à cette application.
• Finesse et efficacité :
  Le système doit garantir une finesse de particules précise tout en maintenant une production par lots stable et efficace.

Solution

Pour répondre aux exigences strictes du client en matière de pureté et de granulométrie ultrafine, EPIC POWDER a conçu un système sur mesure. broyage par broyeur à billes à revêtement céramique système.

• Matériau de la doublure :
  Tous les composants en contact avec le matériau sont fabriqués en céramique de zircone de haute pureté et résistante à l'usure. Il s'agit notamment du cylindre du broyeur, de l'arbre d'agitation et des pièces de tamisage. Cette conception élimine totalement tout risque de contamination par le fer ou le chrome.
• Médias de broyage :
  Le système utilise des billes de zircone de haute pureté et de taille micrométrique comme média de broyage, garantissant l'absence de contamination secondaire même lors d'un broyage à haute énergie de longue durée.
• Classification de précision :
  Doté d'un contrôle de fréquence et d'un classificateur à haute efficacité, le système atteint une taille de particules constante de D97 = 2–5 μm.
• Conception de systèmes fermés :
  L'ensemble de la chaîne de production fonctionne dans un système entièrement clos, empêchant ainsi efficacement la dispersion des poussières et la contamination externe.

Résultat du projet

Cette solution personnalisée a permis au client taïwanais de surmonter le goulot d'étranglement dans la production de poudre de haute pureté, améliorant considérablement la constance et la pureté du produit.
De ce fait, le client a renforcé sa position au sein de la chaîne d'approvisionnement en matériaux semi-conducteurs en amont, obtenant ainsi des avantages à la fois technologiques et qualitatifs.

Matériel matériau semi-conducteur

Finesse: D97 = 2–5 μm

Sortir: 1,5-2 T/h